全固體感應加熱設備與感應熔煉爐的工藝基本相同，有三個要步驟：熔化；精和；澆注。因為高頻感應爐的頻率要求其在編尺比中感應小：熔化逢度快，對一合全元，燃燒豐比中感應爐氡：列出了合全元在與感應爐熔煉相關的高感應爐精和澆注中的爐分能夠準確控制其含量范圍。真空感應爐熔煉的鋼、合金、非金屬雜物的含量遠低于其它熔煉方法。

從物理化學的角度來看，真空熔煉能起到脫氣作用，而脫碳反應能大大降低固體脫氧產物的溫度和壓力是決定反應能否進行的兩個關鍵外罪條件。相對容易控制真空感應爐的溫度，而控制壓力水平是真空感應爐的顯著特征。各種容量的真空感應爐熔化工藝基本相同，可分為裝料、熔化、精煉、出鋼和澆注。

真空感應爐熔煉工藝有冷裝料和熱裝料兩種。冷卻材料的裝配方法如下：小型真空感應爐多采用人工裝配冷卻材料，大型爐多采用料籃裝配冷卻材料。主爐材料應進行除銹處理，濕爐材料應預先烘烤。裝料順序、部位與中頻感應爐相同，但要特別注意爐料要緊上松，防止“架橋”現象發生。少數活潑元素如Al、Ti、B、稀土等裝人分格加料器。大爐裝料時，應分幾次裝料，注意減少爐料對坩堝的沖擊。熱裝法是將爐料預先在感應爐或電弧爐中按成分要求熔化，然后將鋼液注入真空感應爐進行精煉。這種熱裝法適用于大型真空感應爐。